二手 AIXTRON TS #9363430 待售

AIXTRON TS是用於薄膜沈積的最先進的商用CVD反應器設備。由AIXTRON GmbH開發，用於沈積半導體級薄膜。TS是一個模塊化系統，可以根據客戶的需求進行定制。主要用於電介質、半導體或金屬材料在基板上的沈積。AIXTRON TS反應堆提供了多種優點：它提供了出色的膜厚度均勻性；易於使用，容易針對不同的腔室配置進行定制；它帶有一個可選的低溫工藝室。TS也可以進行升級和改裝，加上自動化元件等新的增補。AIXTRON TS的核心是其專有的Showerhead設計。這種設計確保了均勻、高沈積速率和可重現的過程。Showerhead可以設置為不同的源壓力,並且可以根據客戶需求選擇、修改和重新校準源材料。這款Showerhead允許氣體流動良好的均勻性，還提供有關溫度、背景壓力和腔室溫度的均勻性，並允許一致、穩定的過程。TS配備了工藝計算機，可用於微調包括基板溫度、腔室壓力和源氣體輸入在內的工藝參數。該流程計算機包括專用流程軟件，幫助用戶自定義和調整流程參數。該工藝軟件還包括一個自動校準功能，允許自動校正工藝漂移和源。AIXTRON TS還具有出色的安全特性：安裝了具有超壓保護的緊急氣體關閉裝置，以防止薄膜意外損壞。在緊急情況下,另一臺警報機發出聲音警告.綜上所述，TS是一種模塊化、可靠且可定制的薄膜沈積CVD反應器工具。它的特點和高端流程組件使其成為各種CVD流程的絕佳工具。