二手 AIXTRON VP 2400HW #9222203 待售

AIXTRON VP 2400HW是一種金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）的高端外延反應器。該反應堆的設計符合制造工藝的最高要求，具有沈積金屬氧化物、矽和氮化物層的能力。AIXTRON VP 2400 HW配備了高Delta壓力工藝室，並配備了提供更純凈氣體的高端MOCVD源單元，以及提高的生產產量。該源集成在較高壓力的工藝室內，從而改善了材料沈積的均勻性。VP 2400HW還配備了高端自動感應裝卸設備。該系統能夠同時處理多達4個晶片，並提供了反應物引入的微調。該單元還允許在沒有任何人工幹預或昂貴的外部機器人的情況下加載和卸載晶片。VP 2400 HW配備彈性晶圓定位機。這種工具可以精確定位晶片上方的反應物，還具有多區加熱選項，可以均勻加熱樣品，最高可達1400 °C。先進的AIXTRON VP 2400HW 3-Zone煙囪設計允許對整個工藝室進行連續加熱和冷卻。這種設計還使生產高度均勻的層具有更高的精度。AIXTRON VP 2400 HW還配備了流程監控資產，可以進一步優化流程參數。由於VP 2400HW的創新設計，工藝室和源單元可以很容易地分離和更換。這種設計還通過避免腔室與源之間的任何潛在汙染來確保提高安全性。VP 2400 HW是一種先進的MOCVD沈積模型,可提高生產產量、均勻塗層和工藝優化能力。它是要求提高生產率和金屬氧化物、矽和氮化物層生產質量水平最高的制造商的理想選擇。