二手 AIXTRON VP 2400HW #9269833 待售
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ID: 9269833
晶圓大小: 3"
優質的: 2012
SiC Reactor, 3"
Type: Modular CVD system
Gas handling: Electro polished (316) stainless steels tubing
Reactor: Electronic mass flow and pressure controllers
Heater: RF-lnduction heater 2x80 kW, 20-50 kHz
Maximum reactor temperature: 1600°C
MO Temperature control:
Recirculating controlled temperature baths
Accuracy: 0.05°C
Range: -10°C to +60°C
Mass flow control: Electronic mass flow controllers (HiTec)
Pressure control: MKS Baratron and valves
Back pressure controllers: HiTec
Power consumption: 22 kVA (Max)
Vacuum system:
EBARA ESA70WD Dry pump
Pressure sensor
Throttle valve
Pressure control
Vacuum valve
Cooling water system:
Digital flaw meters with data logging
Thermocouples for cooling water temperature monitoring
2012 vintage.
AIXTRON VP 2400HW是專門為生產化合物和金屬有機半導體材料而設計的反應堆。它基於水平磁化器設計，能夠處理2「至8」晶片。反應堆環境采用閉環計算機控制系統控制，便於監測、測量和調整過程參數。反應堆由安德森泵、反應室和散熱器組成。安德森泵有助於創造過程所需的高真空，而反作用室則包含被蒸發的源材料，而散熱器則使該室冷卻。腔室還包含三個加熱區：感光器、側壁和腔室底部，它們可以獨立調整以精確地達到所需溫度。反應堆采用直流（DC）磁控管濺射技術原理運行。這種方法利用動態電場加速帶電粒子（離子）朝向目標材料。通過霧化這些目標材料，AIXTRON VP 2400 HW能夠在材料之間產生極強的附著力，並產生精確均勻性的材料膜。該反應器具有保證工藝參數精確控制的幾個特點。五步時間溫度程序允許直接控制反應溫度和速率。這一特點與計算機化配方和可重復過程相結合，以確保工作的安全性和一致性。VP 2400HW配備了一套安全功能，幫助保護操作員避免意外接觸反應中使用的有害物質。安全功能包括在緊急情況下關閉系統的安全聯鎖系統，以及有助於防止在運行過程中意外打開反應堆門的安全百葉窗。VP 2400 HW是生產化合物和金屬有機半導體材料的可靠高效反應器。憑借其計算機控制的環境、對溫度的精確控制以及安全特性，使加工材料安全、經濟高效且可重復。
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