二手 AIXTRON VP508GFR #9115997 待售

AIXTRON VP508GFR是來自AIXTRON的GaN-on-Film反應堆。它能夠在各種基板上創建無缺陷、高效的半極性和非極性GaN層。反應堆利用高頻電子回旋共振（ECR）等離子體在4英寸、6英寸或8英寸的InP、Si或GaAs基板上生長高質量的GaN外延層。該反應堆還有一個加熱級，能夠達到高達1000 °C的溫度，可用於生長多層結構以及進行重結晶選擇。VP508GFR易於使用,這要歸功於用戶友好、軟件控制的設備組件,便於設置各種工藝參數。此外，直觀的圖形用戶界面自動生成所有標準工藝參數的配方。AIXTRON VP508GFR采用全法蘭加工室,使加工能力最大化.許多創新的特點使反應堆成為市場上同類反應堆中用途最廣泛、功能最強大的反應堆之一。其中包括兩個集成的積液電池，這兩個電池能夠在外延的不同步驟中使用不同的稀有氣體，一個加速沈積速率的高頻電場，以及一個自動氣體流動系統，確保對工藝氣體的精確控制和均勻性。VP508GFR配有若幹氣體輸送和安全子系統，以確保準確和一致的運行。氣體輸送由閉環質量流控制器管理，而安全包括冷卻和壓力監測系統，在出現問題時可以關閉設備。該反應器能夠制造無缺陷的多層GaN薄膜，具有出色的結晶度和光學性能，以及低雜質水平。可用於創建高效、非極性和半極性LED。AIXTRON VP508GFR具有很高的靈活性和效率，是研究和產品開發的理想機器。