二手 AIXTRON VP508GFR #9401520 待售

AIXTRON VP 508GFR是一種基於磁控管濺射的垂直閉合冷壁外延反應器。它旨在高效生產III-V光電材料，能夠產生2D和3D設備結構。VP 508GFR反應堆裝有中型渦輪分子泵和200毫米主室。主室的最大工作壓力為1至10E-1mbar，而基板溫度可在25°C至500°C之間調節。反應堆的地板裝有感應射頻發生器，允許使用平面感應源加熱基板。這種結構允許外延層的均勻加熱和沈積。AIXTRON VP 508GFR利用一系列金屬作為其濺射源，並選擇電感耦合等離子體和輝光放電光譜光源來改進沈積參數。它還提供了一個氣體註入系統，用於精確控制生長參數，如摻雜水平和密度。VP 508GFR設計有一個集成的軟件系統，便於進入反應堆條件。它還提供了具有不同多任務處理功能的工作環境,例如自動配方和設置、許多用戶定義的參數以及對實驗的遠程控制訪問。AIXTRON VP 508GFR的應用包括光電材料、外延材料和層結構，如垂直腔表面發射激光器（VCSELs）、PIN型光電二極管、量子級聯激光器（QCL）結構和VECSELs。對於那些在光電應用中需要精確一致沈積參數的人來說，這是一個理想的選擇。