二手 AIXTRON XL #9363431 待售

AIXTRON XL是由AIXTRON設計制造的高溫金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器。它被用於研發以及大批量生產，用於光學窗、LED元件和太陽能電池等薄膜技術應用。XL具有定制的線性源優化設備（LSOS），它由專利的三區電子束感應熱處理（EB-TP）技術、氣體輸送系統和過程控制單元組成。LSOS對目標區域的整個寬度提供精確的溫度控制,其獲得專利的三區EB-TP技術可在整個生長基板的基板區域提供高均勻性的溫度。該機還包括一個高精度的旋轉沈積室，它允許在一個循環中最多執行五種不同的沈積。這使得HI-VI P摻雜、低溫摻雜和低溫沈積都能在AIXTRON XL內部進行。其濕法加工特性使蝕刻、清潔和幹燥步驟能夠在一個單一的工藝步驟中實現自動化，其精密的面膜對準技術確保了基板上的最大均勻性。XL由強大的設計組成,可提供更高的安全性、質量和可靠性,以便在工業環境中使用。它包括一個內置保護率監測和數據庫，用於監測和記錄所有關鍵流程數據，以確保質量。其他功能包括一個可視化工具，該工具具有序列和過程參數設置，可以從圖形用戶界面輕松檢查。AIXTRON XL是大批量生產薄膜材料的理想選擇，因此認為在工業環境中是一種有吸引力的、具有成本效益的解決方案。它能夠提供準確、可重現和可重復的結果,還可以實現從一個制造過程到另一個制造過程的快速轉換。該資產還具有許多高級流程控制功能和設備監控功能。所有這些特性使其成為一個非常通用的反應堆，用於各種應用。