二手 AMAT / APPLIED MATERIAL P5000 #293610477 待售

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ID: 293610477
晶圓大小: 6"
PECVD System, 6" (2) TEOS.
Applicated Materials AMAT/APPLIED MATERIAL P5000 Photoresister Reactor是一種用於制造半導體晶片的工具。它被設計用來蝕刻半導體基板,並用光刻膠層覆蓋它們。AMAT P5000是一種化學氣相沈積(CVD)工藝工具,用於生產集成電路和其他微電子器件。APPLIED MATERIAL P5000由一個外室、加工室、氣體輸送系統、一個控制單元和一個真空源組成,它們都被封閉在室內。外室設計為密封,允許溫度、氣體、壓力控制。工藝室由不銹鋼室和石英制成的主體構成。石英有助於確保必要的熱量在整個過程中均勻耐熱。氣體輸送系統由載氣和反應性氣體兩個主要組成部分組成。載氣用於溶解反應物氣體,以便將其沈積到室內。反應物氣體隨後被沈積到腔內,在基板上形成光致抗蝕層。控制單元負責控制壓力、氣流、溫度和時間設置。真空源是疏散加工室所必需的。它用於制造真空,以便為沈積過程建立必要的條件。它可以調整到一個特定的真空,通常範圍從10-1毫巴。為了啟動沈積過程,基板被轉移到工藝室,然後產生真空。然後將反應物氣體溶解到載氣中,註入工藝室。然後調整溫度、氣流、壓力和時間設置並啟動過程。隨著沈積過程的進行,在基板上形成了一層光致抗蝕層,形成了所需的特征。應用材料P5000滿足了半導體工業的需要和要求。它是光刻沈積工藝中的一項技術進步,提供了更高的精度和精確度。AMAT/APPLICED MATERIAL P5000用途廣泛,易於使用,可用於多種情況並執行各種任務。
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