二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-00745 #293654975 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-00745是一種半導體反應堆，設計用於快速、高通量生產微電子器件。它能夠通過激光束加熱加速擴散過程和退火。反應堆由幾個主要部件組成：轉盤上的大型水冷噴嘴組件、石英反應堆室、固定基板支架、射頻發生器、定位和驅動機構以及控制外殼。噴嘴組件是AMAT 0010-00745反應堆最重要的部件，包含一個由固定噴嘴套包圍的水冷芯。巖心有一個入水式，兩個或四個浮環，一個排氣口和一個進氣口。用於將激光束引導至反應堆腔內的基板。石英反應堆室是一個加熱的真空密封室，容納基板支架，並保持激光束目標。基板支架由帶有加熱元件的銅板制成。盤子將晶片固定在腔內進行加工時。射頻發生器用於在反應堆內創建高頻場，以調節基板的加熱。定位驅動機構負責將基板和噴嘴精確定位在腔內。控制外殼容納反應堆的控制模塊，該模塊監視不同組件的運行並相應調整過程參數。應用材料0010-00745反應堆是為高效擴散過程和退火而設計的。它的水冷噴嘴允許在基板上均勻的激光束功率分配，因此產生了高質量的電子設備，減少了加工時間。此外，射頻發生器增加了反應堆室內溫度的均勻性，允許對過程進行精確控制，並消除了長退火時間的需要。此外，定位和驅動機構能夠準確定位和移動基板的腔室，使其適用於廣泛的基板。最後,控制模塊通過監視不同的組件來確保一致和優化的過程。總體而言，0010-00745反應堆是一種先進高效的半導體工具，可用於微電子器件的生產。通過利用其先進的特點，如精確的基板定位、增加的溫度均勻性、均勻的激光束分布和高通量，制造商可以生產高質量的設備。