二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-01286 #9043519 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-01286反應堆是一種先進可靠的串聯CVD（化學氣相沈積）工藝裝置。它專為大批量生產光電器件如半導體、光學器件、平板顯示器等相關產品而設計。該反應器采用石英襯裏反應室，通過射頻感應加熱。該腔室還包含一個氣體入口、一個廢水出口、一個基板支架和一個晶片裝載機/卸載機。反應堆能夠將各種材料如鋁、鈦、銅、矽等的薄膜沈積到基板上。它還可以沈積氧化物、氮化物和氫鈍化膜，以及諸如硼、磷、砷、移植物等摻雜劑。反應堆能夠在高達1100 °C的溫度下運行，這取決於所沈積的材料，同時保持高度的均勻性。AMAT 0010-01286具有遠程晶片裝卸到基板支架以及車載監控的功能。這確保了沈積過程的準確性和可重復性。該反應器采用高精度氣壓閥，允許有多種氣體的脈沖流控制的攻擊性過程流。這提供了高度的沈積物均勻性，在高溫下部分電荷維持在目標基板上。APPLIED MATERIALS 0010-01286利用十六種工藝氣體和高效流量控制，能夠實現柔韌性和軟生產周期曲線過渡，允許快速的生產率變化。它的自動觸摸屏用戶界面設置方便快速設置和維護，以及易於操作和監測反應堆的操作。在0010-01286維持較高的安全標準,提供冗余的安全警報以及緊急關閉,以防止出現任何危險情況。其高性能和可靠性,加上用戶友好的界面,使其成為需要流程可重復性、一致性和整體效率的應用程序的理想選擇。