二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-01286 #9311052 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-01286反應器是一種功率堆積的混合脈沖功率/等離子體沈積工具，專為半導體柵極介電和記憶裝置膜沈積應用而設計。它是一種高度可靠和高效的生產級設備，采用了最先進的脈沖直流磁控管濺射技術。AMAT 0010-01286反應堆包括一個20英寸的不銹鋼室，帶有鐘形、不銹火焰噴霧系統，具備先進的加熱、冷卻和大氣控制能力。該單元還提供了一個創新的自適應層沈積（ALD）功能，同時保形薄膜和薄通道沈積。該反應堆還配備了基於Allen Bradley PLC的控制機器，以確保可靠、可重復和可重現的沈積結果。此外，應用材料0010-01286反應器包括一個底物源發生器，可以精確地形成和控制所需的底物沈積溫度。該工具還包括一個復雜的濺射方位角控制功能，可以調整濺射壓力和角度的過程窗口。此外，0010-01286資產還配備了先進的電子回旋共振等離子體蝕刻技術，用於材料的表面處理。腔室采用氮氣和氦氣加熱/冷卻模式主動冷卻，確保溫度均勻，熱管理出色。冷卻設備的工作原理是從基板源和推進器腔中吸入氣體，並在腔壁周圍循環。這樣可以確保加工過的材料不受常規半導體加工所固有的熱波動的影響。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-01286系統還具有可靠的過程監控功能。它配備了實時、就地的粒子測量模塊，以精確監控過程，並保持對等離子體腔的嚴密控制。此外，該單元還提供微創無損端點控制模塊，以準確測量沈積過程的端點。AMAT 0010-01286機器提供了一個一致且可重復的過程，這對於TiN門介電和內存存儲設備的制造是必不可少的。APPLIED MATERIALS 0010-01286反應堆工具提供了符合當今半導體技術最高標準的高效、可靠且節能的解決方案。