二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293596912 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254反應堆是一種通用蝕刻反應堆，設計用於等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）。它設計用於中型至大型生產，腔室尺寸為30 「x 30」（76.2厘米x 76.2厘米）。該反應器采用冷壁圓柱形室，由不銹鋼和石墨襯裏組成。石墨襯裏有助於通過提供熱散射來最大程度地減少腔室的熱應力，同時允許修復腔室內耗盡的表面。該室還包括熱解氮化硼（PBN）平臺和陽極罩。反應堆配有單頻13.56 MHz VHF射頻電源，功率範圍為250-500瓦。該設備設計用於清潔室環境,並配有真空額定視圖端口窗口和用於遠程通信的I/O連接器。反應堆還具有可編程性，允許預設配方，並選擇最多50步的程序以增加控制和靈活性。配方預設提供了一系列工藝參數，如氣流、氣體混合物、壓力、射頻功率、曝光時間、偏差和溫度。該系統配備了超壓模式和壓力維護，通過允許使用者快速撤離腔室，有助於減少顆粒汙染。該裝置還配有用於PBN平臺的溫度控制機，對沈積速率和配置提供額外的控制。該反應器具有良好的均勻性,能夠實現0.5%的工藝步驟可重復性.它還具有高達0.2%的溫度均勻性,並且能夠通過超時和微反饋提供0.2%/0.5%的石英穩定性。總體而言，AMAT 0010-03254反應堆為先進的PECVD應用提供了可靠高效的解決方案。