二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293632752 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 0010-03254是一種用於半導體制造的反應器，用於在晶圓表面沈積薄膜。該反應堆的設計效率極高，但可靠且具有成本效益，可提供一致的高質量薄膜輸出。該反應堆采用受控物理氣相沈積（PVD）。PVD是一種薄膜沈積過程，發生在稱為沈積室的環境中。在該腔室內，引入汽化材料，然後沈積在預定義的基板上。這種基材通常是半導體晶圓。在半導體PVD的情況下，引入腔室的氣體中含有前體分子，這些分子隨後被分解成反應性更強的原子和分子，然後以定向和保形的方式沈積在晶圓表面上。AMAT 0010-03254反應堆采用先進的傳統PVD室設計，經過優化，具有較高的吞吐量和效率。因此，反應器能夠處理大量的底物，最小的循環時間和薄膜沈積的吞吐量。在其基本設計中，反應堆由多個部件組成。這些部件包括惰性氣體供應管道、目標支架、濺射源組件、RF或直流電源、陽極組件和真空系統，以及腔室本身。APPLIED MATERIALS 0010-03254反應堆裝有其他幾個特性。例如，它可以被編程為通過各種氣體引入速度自動過渡，同時具有光背景和粒子監控器。這允許用戶手動或自動觀察和監視進程的進度。它的作用是將前體和惰性背景氣體泵入腔室，在腔室中它們反應並迅速沈積到晶圓表面上。工藝溫度和壓力可以精確控制，允許優質薄膜與多種材料沈積。根據所使用的材料和應用，可以采用各種不同的腔室幾何形狀，如開放式、鐘形或其他類型。0010-03254是一種高度可靠、經濟實惠的半導體制造方式。它可以生產厚度均勻的薄膜，具有出色的階梯覆蓋率。由此，成為半導體制造流程中的重要資產。