二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293665750 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254是AMAT, Inc.制造的反應堆設備，用於廣泛的工業過程。它專門設計用於前端半導體器件制造時提高生產、精度和工藝控制。反應堆系統利用加熱和冷卻的反應性等離子體的組合，產生一種化學反應，可以用來將材料精確地沈積在表面上。AMAT 0010-03254由不銹鋼反應室、高頻磁力發生器、單級高壓耦合變壓器、高壓等離子體源和發電機驅動的射頻電源組成。加熱和冷卻的反應性等離子體由磁控管產生，由高頻發電機供電。然後高壓耦合變壓器能夠精確調節等離子體向反應室的電壓和電流傳遞。APPLIED MATERIALS 0010-03254由一個可編程控制器控制,該控制器允許用戶調整熱量和反應參數以根據特定需要自定義過程。反應室能夠產生反應性氮、氧、氫和氯，在沈積前氧化和鈍化表面。反應室還可以通過高精度控制進料氣體如氙氣、氙氣、氙氣、氦氣來實現高純度沈積。0010-03254專為精密和控制而設計,具有編程視圖、壓力、熱量和氣體控制功能,可用於專門的化學機械拋光。它有一個鎖載室，可用於樣品和盒式磁帶的進出，並具有幹式和濕式化學的集成氣體輸送。反應堆單元由一個可修復的端站和一個石英或石墨晶片船支撐支撐，最多可保持八個晶片。它還具有額外的溫度輸入，用於控制其他晶圓船預熱技術。綜上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254是一種多功能反應堆機器，旨在提高半導體生產制造過程的控制和精度。它具有不銹鋼反應室、高頻磁力發生器、高壓耦合變壓器、高壓等離子體源和發電機驅動的射頻電源。可編程控制器允許用戶根據特定需求定制流程，它提供了一個負載鎖定室、一個可修復的端站和集成氣體輸送。此外，它還有一個額外的溫度輸入，用於控制其他晶圓船預熱技術。