二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293769609 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254是一種生產級、高效的PVD反應器，設計用於濺射各種材料的薄膜。AMAT 0010-03254是一種獨立的300 mm晶片卡帶到卡帶的工具，提供高性能的濺射沈積和使用獨立的工藝室同時沈積多個金屬和金屬氧化物材料層的能力。PM室配備了獨特的「旋轉磁控管源」，使其與包括傳統平面目標和圓柱形目標在內的多種目標材料配合使用，創造出均勻的層厚度。此外,它還配備了增強的旋轉目標管理設備（ETM）,以改善現場控制和均勻性,並改進負載鎖定設計以減少顆粒汙染。反應堆的控制是通過使用專用的前端自動化和控制系統實現的。該單元便於快速設置和配方優化，提供統計控制的質量保證，並利用熱晶片加載。這有助於最大限度地減少對易碎反應物氣體的損害，同時降低維護成本和減少能源消耗。此外，該機支持單室和多室操作，允許靈活的過程強化。在其機械設計上，APPLIED MATERIALS 0010-03254設有先進的降泵架構，以容許快速的設備更換和工具維護。此外，該工具還能夠使用先進的隔膜和背襯泵在沈積室中產生較高的真空水平。此外，該反應堆還配備了高精度驅動系統，優化了氣體分配，改進了氣體清除，提高了性能，提高了薄膜沈積效率。0010-03254反應堆的核心是經AMAT驗證的MDP4（四室最大數據處理）控制器平臺。該平臺支持優雅的配方管理,並具有統計過程控制和更高級別的產量優化。此外，MDP4控制器還能夠進行趨勢分析和自定義分析，使操作員能夠對過程中材料的機理和行為產生有力的見解。總而言之，AMAT/APPLICED MATERIALS 0010-03254是一種功能強大的生產級PVD反應堆，性能優異，工藝靈活性強。它結合了先進的機械設計、自動化和控制工具，成為薄膜快速沈積和多層特定金屬和金屬氧化物材料同時沈積的理想工具。因此，AMAT 0010-03254反應堆是各種濺射應用的理想選擇。