二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9004838 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254是專為PECVD和半導體和MEMS制造中的氧化應用而設計的全晶片處理反應器。該反應器非常適合沈積低介電層和保護膜，以及形成抗反射塗層。AMAT 0010-03254有一個加熱、可旋轉的樣品室，直徑200毫米，最多可容納15個晶圓。先進的單罩設計確保了反應物氣體的均勻分布和均勻的側壁沈積。基板偏置電壓可調0至700V，偏置頻率可調。反應堆配有主動機械快門設備，用於控制反應物濃度、溫度和壓力，以獲得最佳工藝結果。該系統還配備了先進的工藝控制單元，以優化沈積重復性和重復性。此外，APPLIED MATERIALS 0010-03254還有一臺先進的疏散機，可以用氮氣或氙氣快速高效地清除腔室。反應堆的設計容易融入現有或新的制造系統。模塊化設計使安裝和升級變得簡單明了。該設計使操作員能夠快速設置和更改流程配方,並執行現場診斷。一般情況下，0010-03254是一種先進的、高精度的PECVD/氧化反應器，旨在提供高質量的沈積結果。其設計允許快速高效地形成低介電層、保護膜和防反射塗層。它的模塊化設計使其能夠輕松集成到現有的制造系統中，其先進的工藝控制工具確保了沈積的可重復性和可重復性。這種堅固、可靠、用途廣泛的反應器是半導體和MEMS制造的理想選擇。