二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9069114 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254，或AMAT 0010-03254反應堆，是一種主要用於制造半導體晶圓加工應用的工具。APPLIED MATERIALS 0010-03254反應堆是一種先進的設備，裝有幾個超高精密腔室的已安裝部件，包括UP3000多晶矽沈積室、View 5000電子槍激發和批次真空爐9400。這一通用系統允許不同類型的工藝，從LPCVD和快速熱處理技術，到用於層間介電的濺射沈積。UP3000多晶矽沈積室是一種大型加工容器，可配置用於多種類型的工藝。它有一個獲得專利的雙催化劑氣體輸送裝置，可以精確控制沈積速率。View 5000 E-gun激發機是一種大功率、脈沖驅動的電子激發工具，用於提高沈積過程的效率。其最大功率為160kV，脈沖長度為1微秒。此外，它還配有磁性噴嘴，可以精確控制沈積過程。最後，Batch Vacuum Furnace 9400是一種多級工藝室，可執行快速熱退火、氧化物去除等多種高溫應用。最高溫度為1300 °C，配備實時溫度剖面，具有可調的時間和溫度剖面。總體而言，0010-03254反應堆是高精度半導體晶圓加工業的有力工具。它提供了對沈積過程的高度精確的控制以及廣泛的應用。憑借其各種集成組件，可以為各種半導體制造工藝提供無與倫比的性能和可靠性。