二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9208507 待售

ID: 9208507
MCA E-Chuck heaters.
AMAT/APPLICED MATERIALS 0010-03254是一種商用級、垂直分體式、氣體反應堆式設備。該反應堆設計為適合於半導體加工、沈積和蝕刻作業的商用級設備。它是一種用途非常廣泛的設備,可用於多種應用。該反應堆采用不銹鋼分塊組件,可容納雙晶圓加工和可變電源。它設計用於整個反應室的恒溫和壓力控制。它有一個垂直的反作用室,便於進入和維護。反應堆在沈積過程中能夠在高達450°C的溫度下運行,在蝕刻操作中能夠在高達800°C的溫度下運行。此外,壓力可以從30調整到1000Torr。該反應堆還設有一個振蕩器,用於將晶片向加熱室的背面轉移,以及一個單獨的熱控制單元,用於設計加熱剖面。AMAT 0010-03254的另一個特點是集成過程自動化模塊。該模塊可用於控制壓力、溫度、流量等基本系統參數。該反應堆還包括一個集成氣體輸送裝置,具有自動泄漏檢測功能,確保高效和堅固的運行。該機還具有集成式可切換電源管理模塊,以及帶集成計時器的數字顯示單元。APPLIED MATERIALS 0010-03254因其可靠的性能和較低的維護成本,是半導體加工的絕佳選擇。反應堆具有加工多種材料的能力,使其用途廣泛,適應多種應用。此外,產品用戶友好,具有易於進入的反作用室和可調節的參數和特點。這種反應器是任何半導體工藝的絕佳選擇.
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