二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9312941 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254 Reactor是一種用途廣泛的薄膜沈積設備，設計用於涉及化學氣相沈積（CVD）和物理氣相沈積（PVD）的實驗。反應堆室由不銹鋼構成，帶有石英基板支架和電阻加熱器敏感器。它具有超低壓對高真空處理的能力，操作最高可達1000˚C。AMAT 0010-03254反應器是一個可靠的沈積在多種類型的基板上的來源，具有精確的溫度均勻性和工藝氣體混合系統。反應堆室獨特的噴頭設計和長度允許即使在高增長率和高真空條件下，均勻的膜沈積到基板上。反應堆有一個全面沈積區和一個中央升降機，門外有一個手動或電動升降機，用於基板樣品裝卸。機器的蓋子可以打開到頂部淋浴頭的全臉進行基板清潔或激光燒蝕。0010-03254反應堆通過精確的混合和質量流量控制提供對過程氣體的精確控制。雙區域工藝允許在沈積薄膜的過程室溫低至25˚C。基板中心的溫度可以在25˚C到1000°C的範圍內精確調節，精確的溫度均勻度± 2°C。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254 Reactor允許自動補充原料和交換基材,從而消除了對生產工作流程的人工幹預。一種先進的氣體輸送工具保持對工藝流體殘余壓力和流動的精確控制。該資產設計用於在乙炔、矽烷、氨和其他工藝氣體上運行。獨特的導流閥和主閥提供精確的流量控制.AMAT 0010-03254反應堆的先進特性為薄膜CVD、PVD、ALD、濺射沈積等廣泛應用提供了精確的薄膜沈積。該設計可確保在大面積基板上均勻沈積薄膜，且交叉汙染和基板損壞最小。此外，增加的沈積率通過減少周期時間和提高生產率來節省成本。