二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03500 #293670004 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03500是一種用於化學氣相沈積（CVD）工藝的反應器。它是一種專門的工藝設備，用於將金屬、半導體、介電和有機化合物的薄膜塗抹在多種底物上。CVD反應堆利用熱和化學過程使材料蒸發，然後將其沈積到基板上。這個CVD反應堆有一個風冷的熱板，設計用於水平或垂直配置。熱板有3個區域，可以精確地控制基板的溫度，其設計允許在整個基板上均勻沈積。反應堆還設有一個設計均勻加熱的多區石英加熱器，溫度範圍為室溫至1000 °C，公差± 1%。該反應堆被設計為可與矽、鋁、砷、磷化銨、碳、金屬有機化學等多種材料配合使用。該反應堆還設計用於與各種載流子氣體一起工作，包括氮氣、氙氣和氫氣，用於氧化過程。AMAT 0010-03500 CVD反應器可用於各種應用，包括厚膜加工、半導體制造的RTP（快速熱處理）、薄膜沈積以及與MEMS兼容的薄膜加工。大的加熱面積和可調節的氣流使得這種反應堆適合大規模的應用。反應堆還配備了氣體歧管，可在CVD過程中精確控制多個氣體。氣體管線裝有質量流量控制器，用於精確控制氣體流向反應堆的速率。這確保了對各種底物和產物類型可重復的CVD反應。應用材料0010-03500 CVD反應堆的設計考慮了安全性和便利性。利用其PMM（電源監控模塊），它為熱板和石英管元件以及安全聯鎖提供電源監控。反應堆還具有壓力傳感器、地面故障中斷器和真空互鎖等一系列安全特性。憑借所有這些特點，0010-03500 CVD反應堆是一個可靠、安全、靈活的加工設備。