二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03840 #293820448 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03840 Reactor是一種精密等離子體蝕刻工具，旨在讓製造商能夠快速製造出精確度極高的半導體元件。反應堆的整體設計基於高度模塊化的設計，以提供最大的靈活性。這樣可以快速方便地訪問設備中的各種組件以進行維護或更換。AMAT 0010-03840反應堆非常適合用於多種應用，例如生產先進的半導體器件。該系統的主要特點包括一個3英寸頂載熱源，它在適合各種蝕刻過程的廣闊區域內產生高密度高能等離子體。該裝置還具有先進的溫度均勻性控制，確保所有基材加工過程中晶圓溫度均勻。此外，該機提供了全自動的過程控制技術，允許制造商自動控制氣體流量、功率和基板溫度的組合，以提高過程精度。模塊化設計包含了一系列功能，有助於確保從第一個晶片到最後一個晶片的可靠蝕刻過程。這些特點包括惰性氣體輸送工具、自動晶體定向檢測以及精確的垂直坐標資產。APPLICED MATERIALS 0010-03840 Reactor的設計可容納直徑最大6英寸的基板加工，並提供一個集成的基板支架，可以牢固地固定基板，用於控制氣體輸送和精確蝕刻幾何形狀。該模型提供雙面腳踏板控制和大屏幕、直觀的圖形用戶界面（GUI）,以實現快速、輕松的操作。為了確保保持準確和可重復的配方，設備采用了一個先進的軟件系統，可以連續監控蝕刻過程。軟件單元記錄進程變量,允許每次重復所需結果。最後，0010-03840反應堆采用優質材料建造，確保在惡劣的工業環境下使用壽命長。通過利用這種精密等離子體蝕刻工具的特性，制造商可以制造出精度更高、產量更高的元件。