二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843 #9268586 待售

ID: 9268586
晶圓大小: 12"
CxZ Heater, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843是一種工業領先的化學氣相沈積(CVD)反應器,用於生產半導體和其他薄膜。目前用於制造各種集成電路(IC)元件、薄膜晶體管(TFT)和微觀顯微鏡元件。這座反應堆設計有一系列加熱元件、一個基板室和加工氣體,在基板表面形成薄膜。基板支架的設計方式是為了最大限度地提高所得薄膜的均勻性和質量。這個CVD反應堆最重要的兩個元素是加熱器元素和處理氣體。加熱元件是由鎢、的、鉬等金屬組成,以達到合適的加工參數。加熱器元件表面采用陶瓷制成,有助於保證加熱元件的均勻性和穩定性。加工氣體用於在基板上形成所需的膜。最常用的氣體是矽烷、二矽烷和摻雜矽烷的氮或甲烷。還調整了氣體流速、壓力、溫度、曝光時間等多項參數,以確保能夠創造出質量最好的薄膜。為了保證所得薄膜的正確質量,CVD反應堆也需要正確校準。這是通過評估薄膜的均勻性、厚度和組成,並對參數進行任何必要的調整來完成的。例如,如果薄膜不均勻,那麼氣體的壓力、溫度和流量可能需要調整。薄膜的厚度和組成也是如此;在所需厚度或組成方面的任何差異都需要更改參數。總體而言,AMAT 0010-03843是一種可靠、用途廣泛的CVD反應器,能夠生產出參數精確的薄膜。這使用戶能夠創建完成項目所需的確切影片。憑借其可靠的性能和精確的參數,這種CVD反應堆是任何希望以最高精度制造薄膜的用戶的絕佳選擇。
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