二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843 #9269048 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843是一種氣相沈積反應器，設計用於將薄膜沈積到基板上。該反應器能夠處理金屬氧化物材料，允許用戶創建具有所需各種薄膜特性的單層或多層沈積。反應堆的設計具有超低沈積室壓力，並具有用於加熱基板的射頻源。反應堆還配有石英壁，以便高效傳熱，並保持內部溫度相當一致。所包含的微波功率可通過獲得專利的「風冷」設計進行調節，這有助於減少能量損失。反應器是垂直方向的中性壓力型，允許使用者將材料沈積在基板的兩側。基板固定在低熱質量（LTM）晶片支架中，該晶片支架具有水共流氣流（WCGF），用於高效傳熱。這個支架位於反應堆底部，這樣多余的材料以後可以很容易地收集。這種設計加上可調節的壓力可用性，使其成為制造半導體制造多層薄膜的完美系統。此外，反應堆還在其設計中融入了一些安全特性。這包括許多可能的揮發性有機化合物（VOC）傳感器，這些傳感器在反應堆運行的任何時刻檢測到任何有毒煙霧的存在，如果檢測到不安全水平，就可以關閉。反應堆還有一個防火器和接地系統，用於任何潛在的氣體火災。總體而言，AMAT 0010-03843氣相沈積反應器的設計為用戶在沈積多層薄膜過程中提供了最大的靈活性，同時還提供了確保操作員安全的安全特性。該反應堆具有可調壓力以及確保質量和精度的額外設備，這使得反應堆成為那些希望制造可靠和堅固的多層薄膜的人的完美系統。