二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843 #9269049 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843是一種先進的沈積反應器，經過設計，提供高質量的材料沈積。廣泛應用於先進半導體制造、先進包裝、MEMS等領域。這座下一代反應堆是聚矽、鎢、鋁、碳等材料精密沈積的行業領先來源。AMAT 0010-03843由石英室、陶瓷腔、石英窗構成。石英室密封，是沈積過程的主要樞紐。陶瓷腔包含高能電子束槍和高溫加熱元件，為沈積過程創造最佳環境。石英窗是反應堆的好處，因為石英窗的存在減少了對復雜真空泵和線路的需求。高能電子束槍用於向反應堆腔室註入高密度粒子，從而能夠結晶並產生特定材料的均勻塗層，如氮化鈦或氮化全新。此外，電子束槍具有產生空間快門的能力，並具有少量的材料沈積點，允許在各種基板上放置中小型尺寸的特征。與僅使用電子束註入相比，加熱區使選定材料的均勻塗層能夠以更好的厚度控制沈積。此外,APPLIED MATERIALS 0010-03843還具有主動自我刷新系統的優點,該系統循環處理特定的沈積參數,以便通過均勻地增生材料來均勻分配材料。使用此自刷新功能,對於厚度均勻的一致塗層,可以將反應參數設置為靜態模式。0010-03843還包括具有獨立密封內室和外室的雙室設計,為需要溫度和壓力變化的沈積提供了好處。通過將加熱的腔室與基板隔離,操作員能夠控制其工作,獨立設置溫度和壓力,並節省工藝步驟之間的時間。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843是一種先進的沈積反應堆，具有高水平的性能和可靠性，具有廣泛的優點。石英室、陶瓷腔、高能電子束槍和雙室設計的結合，都允許金屬和化合物在多種底物上可靠且可重現的沈積。