二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843R #9270795 待售

ID: 9270795
晶圓大小: 8"
DCxZ Ceramic heater, 8" Resistance: 4.3 ohm.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843R是一種用於半導體制造和沈積應用的反應堆。該反應堆旨在提供生產先進半導體器件所需的高質量蝕刻和沈積工藝。利用高功率真空和一系列氣體噴射特性,精確控制蝕刻和沈積參數。AMAT 0010-03843R反應器由一個不銹鋼真空室容器構成,可通過觀察窗口看到。腔室配有許多密封劑、氣體和泵接口。反應堆內部還裝有兩個平面盾牌,分別位於頂部和底部。這些屏蔽裝置旨在防止任何溢出物和粒子源在過程中進入反應堆。應用材料0010-03843R反應堆由一系列外部高壓電源供電。這些電源進入反應堆的腔室控制器,該控制器根據所需的工藝需求而改變兩個平面屏蔽之間的電壓。一組大功率隔離開關閥允許反應堆將廢氣和加工氣體註入腔室。此外,反應堆還設計用於通過一系列排氣和排氣連接將任何廢氣和廢氣顆粒循環出室內。0010-03843R反應堆配備了一系列特性,使其能夠以高精度和高效率運行。最值得註意的是,它具有動態端點檢測設備,可以準確檢測加工層中的部分或全部蝕刻。這個系統還允許反應堆檢測室內殘留粒子的存在。再者,它的控制單元實現了一組非線性反饋和前饋算法,使反應堆能夠根據溫度、壓力、氣體流量等參數優化其工藝性能。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843R是一種先進的高科技反應堆,設計用於從生產先進半導體器件到各種蝕刻和沈積工藝的應用。其強大的設計、精確的控制機器和動態端點檢測工具使其能夠以高效率和準確性提供高質量的結果。
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