二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-04450 #9043624 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-04450 Reactor是一種渦輪分子、高真空生長設備，專為半導體制造中的蝕刻和沈積過程而設計。該系統由不銹鋼構成，采用了在真空或大氣壓下運行的強大的超高壓渦輪分子泵。特高壓泵由氣體歧管補充，允許最多選擇六種不同的氣體。選定的氣體，通常是氮氣、氧氣和氙氣，用於所有沈積和蝕刻過程的氣體供應和壓力調節。該反應堆設計用於可達到的最高工藝窗口和溫度均勻性，電爐的工作溫度為10°至1202°C（50°至2196 °F）。溫度由雙區加熱器、鹵素爐和惰性氣體消減裝置組合維持。惰性氣體消減機有助於消除真空室壁上的氧化，有助於維持非常低的基壓水平。AMAT 0010-04450反應堆還采用了集成的顆粒收集和過濾工具，旨在保護工藝設備免受顆粒汙染。該單元可以兩種模式之一操作；帶有排水閥或鐘罩室。排水閥的運作方式是讓氣體通過過濾器，而鐘形罐室則將顆粒收集在一個幹燥的室中，在那裏它們以後可以被提取出來。反應堆還包括其他幾個有助於促進蝕刻和沈積過程的系統。其中包括具有可調電流的電源、供氣歧管以及允許操作員在配方期間精確設置工藝參數的數字控制器。資產還包括端點檢測和發射控制,這有助於優化流程性能。總體而言，APPLIED MATERIALS 0010-04450 Reactor是一種功能強大且可靠的工具，可用於進行高度精密和精確度的蝕刻和沈積過程。該模型能夠經濟高效地執行要求最苛刻的半導體制造工藝，並提供盡可能高質量的產品。