二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09001 #293658034 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09001是半導體工業非常先進的反應堆工具。反應堆利用化學氣相沈積工藝將各種材料如矽沈積到具有精確控制的基板上。這項技術對於制造半導體器件，例如集成電路和其他電子元件至關重要。AMAT 0010-09001反應堆設備包括外殼單元和腔室組件。外殼單元包含系統的功能組件，如電源、控制器以及各種閥門和泵。腔室裝配是實際生產過程發生的地方。腔室包含氣源、溫度控制系統和沈積源。化學氣相沈積過程發生在腔內。氣源將氣體輸送到腔室，然後以精確的比例混合產生所需的反應。混合後，氣體被加熱並攪拌，分解成較小的顆粒，可以沈積到基質上。許多沈積氣體被加熱到基板表面溫度以上。這樣可以更好地控制材料的沈積特性,例如結深.應用材料0010-09001反應堆機組使用兩種主要的溫度控制組件：氣源加熱器和蝕刻源加熱器。氣體源加熱器在氣體源送入室內之前對其進行加熱。它還有助於準確控制氣體混合物。蝕刻源加熱器在沈積前加熱基板表面，以降低汙染風險。機器還利用幾個專門的過程來確保質量結果和精確的結果。例如，離子束輔助蝕刻工藝有助於提高沈積材料的質量，減少蝕刻損傷。等離子體沈積過程有助於減少過程中的顆粒缺陷。總體而言，0010-09001反應堆工具是半導體制造商以極高的可靠性和可重復性準確沈積所需材料的卓越工具。它提供了高精度和一致的結果，使其成為制造半導體器件的絕佳選擇。