二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09010 #293658075 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09010是一個由圓柱形反應室組成的反應堆，通常長約5英尺，直徑可達半英尺。這座反應堆設計用於通過頂部裝載，還配有升降系統，便於裝載。它可以容納直徑最大8英寸的晶片。該反應堆由包圍反應室的物體組成，並保持在一定的壓力、溫度和氣體水平範圍內。該腔室是氣密的，旨在防止其他工藝步驟的交叉汙染。此外，反應堆還可以根據客戶的需要定制各種配置。基板（或樣品）通過頂部進料管引入反應堆，隨後被提升到加工室底部，然後裝載到提升平臺上。然後使用旋轉的左輪手槍式加熱器加熱和抽出過程氣體，同時還控制溫度和壓力，由控制器維護。基板經過加工後，排出到真空歧管，在那裏可以附著產品收集容器。反應堆的非真空部件由不銹鋼構成，而真空兼容法蘭和連接器則采用不同的材料。真空部件通常包括焊接的不銹鋼主體和由陶瓷插件組成的鋁制刀片，這種刀片能夠更好地密封，並旨在減少汙染。反應堆還有各種安全和監測措施到位，如壓力傳感器、氧氣/可燃氣體傳感器和冷卻水傳感器。此外，在溫度過高或壓力過大的情況下，反應堆還提供可聽和可見的警告。此外，反應堆提供了一個自動化系統，在緊急情況下將其關閉。總體而言,AMAT 0010-09010反應堆是一個可靠而堅固的系統,可以根據客戶的要求進行定制,並提供完整的安全和監控功能包,以確保過程結果的安全性和質量。