二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09103 #293658078 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09103 Reactor是半導體工業中用於蝕刻和清洗晶片的自動化生產工具。該設備采用真空加工室建造，配有靜電夾緊（ESC）系統，用於均勻的晶片放置和旋轉。該反應器具有垂直共平面設計，確保基板以相對於電極的平行方向沈積，以獲得更好的工藝均勻性。提供可靠的蝕刻和清潔解決方案，具有高水平的晶片到晶片的可重復性，是生產工程的理想選擇。它的自動化操作由一臺具有高級用戶界面的全功能計算機控制。它配備了精確的過程控制單元、數字視頻機、實時曲率測量和冷卻工具。還提供電離氣體輸送資產，提供穩定、均勻和精確的蝕刻工藝。其自動裝卸能力也確保基板在整個過程中保持在同一位置。AMAT 0010-09103反應器能夠進行多種工藝，包括去除氧化物、選擇性蝕刻、薄膜沈積、各向異性蝕刻和深層矽蝕刻，並具有工藝控制和改進的透基均勻性。它設計用於擴大基材、基材尺寸和環境條件的範圍，能夠實施一系列的過程氣體供應系統，以確保可靠的蝕刻。真空模型是為高真空水平和頂層工藝性能而設計的，具有優異的溫度控制、石英溫度監測和可調節的爐溫。該設備配備了幾個安全功能，包括緊急停止開關、互鎖繼電器和塵埃監視器。它還包括一個復雜的過程監控系統，調整功率級別，以及觸摸屏圖形用戶界面。該反應堆提供出色的均勻性和吞吐量，是生產工程行業的理想選擇。