二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #152193 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416是由AMAT, Inc.開發的等離子體化學氣相沈積（CVD）反應器，廣泛用於制造半導體、納米結構和光學器件。AMAT 0010-09416反應堆的主要部件包括內室、等離子體源、排氣、真空設備以及氣流、壓力和溫度等過程相關變量的控制系統。APPLIED MATERIALS 0010-09416的內室呈圓柱形，由鋁和不銹鋼構成。它有一個平坦的底部，用來容納沈積薄膜的基板。基材可以是矽晶片，也可以是玻璃或石英基材。在沈積過程中,腔室處於高真空狀態（通常為10-3 Torr）。過程氣體的廣義流動通過腔室中心的氣箱進入腔室，位於基板正上方。流量由控制系統調節，過程中可能添加或去除特定氣體。0010-09416中使用的等離子體是電容耦合的，非熱交流等離子體。這是由一個射頻電源產生的，它充當位於腔室中心的圓頂形等離子體源的天線。射頻電源根據工藝溫度和薄膜要求設計為提供特定的功率密度。等離子體用於激發和化學活化反應物以形成所需的材料。排氣口從腔室中除去反應副產物，通常連接到真空裝置。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416的控制系統允許精確處理工藝參數,如壓力、溫度、反應物比和氣體流速。這是使用機械和/或數字控制器的組合完成的，這兩者都是完全可編程的。此外，控制機可用於分析過程數據並自動進行校正，從而提高過程的均勻性和可重復性。總而言之，AMAT 0010-09416是一種可靠有效的反應堆，廣泛用於生產半導體、納米結構和光學器件等多種應用。它的高級功能,包括精確管理過程參數的能力和分析數據的能力,使其成為各種制造過程的寶貴工具。