二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293602314 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416是一種多組分、多區過程反應器，主要用於半導體工業。設計用於薄膜的氧化、氮化和蝕刻等應用。反應器通常安裝在環形支架上，用於薄膜堆棧處理的自動化。AMAT 0010-09416反應堆由工藝室和法蘭兩個主要部分組成。加工室是包含最多四個多區域加工區的外殼。每個區域使用標準2000瓦射頻源加熱，可以獨立控制，設置為不同溫度。法蘭是一種專門設計的法蘭，機械地將工藝室連接到真空系統。加工室最多分為四個多區加工區。每個區域由可調節的晶片表組件隔開，並有一個單獨的高溫燈或無繩燈高溫源。可調基晶片表組件允許步進電機水平移動晶片，將其映射到不同的區域進行不同的處理。每個區域的溫度都是獨立控制的,並設置為溫度從-50°C的極限到+1000°C的最高極限,總功率高達2000瓦。反應堆的真空系統包括一條與法蘭相連的疏散管線。它由電子電動泵提供動力，提供500 mTorr的最大壓力。排氣線也與法蘭相連，壓力高達1托。APPLIED MATERIALS 0010-09416反應堆總重290磅，尺寸為43.5in （H） x 43.5in （W） x 21.5in （L）。它配備了安全關閉閥、數字流量監控器和帶安全閥的排氣口。它的設計考慮到安全，以確保反應堆的運行符合適用的安全條例。總之，0010-09416是半導體工業中為薄膜堆棧加工而設計的多組分、多區工藝反應器。它配備了一個安全關閉閥、數字流量監控器、排氣口等，並且設計為符合適用的安全規定運行。因此，該反應器是高溫工藝應用的有效工具，如氧化、氮化和薄膜蝕刻。