二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293618132 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416是專門為薄膜沈積而設計的蝕刻反應器。它是一個高通量、大容量的蝕刻反應堆，用於大規模的半導體晶圓加工。該反應器可用於薄膜沈積、基於等離子體的灰化和蝕刻過程。它配備了高壓增強等離子體技術，用於沈積循環時間更快、均勻性提高的薄膜。AMAT 0010-09416反應堆由內蝕刻室和外同心源室組成。內室用來容納蝕刻劑，而外室則包含等離子體能量的來源。源室裝有六個能夠調節能級和氣體流量的同心火炬。這些火把用於掃描晶片並精確控制沈積速率。設備是自動化的，基於雲的機器學習提供了對蝕刻過程的精確控制。反應堆能夠產生高度精確的蝕刻模式，這對於先進的半導體工藝是必不可少的。該系統有一個集成的過程監控器，提供對蝕刻過程的詳細控制和數據分析。反應堆還設有一個專門的終端單元，具有板/條存儲、自動轉移和優化的腔室清洗。該單元有助於最大限度地提高晶圓吞吐率,最大限度地減少晶圓損壞。它還能夠精確測量蝕刻的體積，確保精確蝕刻並導致更好的結果。過程監視器記錄完整的蝕刻過程,從而實現進一步的過程開發和優化。整體單元設計靈活，設計用於實施高級蝕刻工藝。它具有用於識別和糾正異常的高級診斷功能,而其內置診斷機器可用於識別過程中的異常並進行更正。該工具符合EPA標準,並通過EMC認證,可與其他設備兼容。它還可以與自動化系統集成,以實現快速、高效和精確的操作。總體而言,APPLIED MATERIALS 0010-09416是一種高度工程化的蝕刻反應堆,可提供可靠的性能、準確的結果和高通量。該資產是專門為先進薄膜沈積而設計的，不需要復雜的腔室設置，同時提供了對沈積過程的精確控制。該蝕刻反應器是大型晶圓加工的理想解決方案。