二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293770720 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416反應堆是一種生產規模、多室加工設備，專為用於半導體制造和研究的先進材料而設計。它是專門為薄膜材料在晶片上的精確沈積和退火後而設計的。該反應器由五個相互連接的腔室組成：真空預處理、沈積、退火後、氧化和凈化。真空預處理室用於裝載晶片和抽出腔內的空氣，以準備系統進行處理。沈積室是通常由矽、硼、碳等反應性元素組成的活性氣體註入的地方。然後將這種氣體對準基板，然後沈積一層薄薄的活性物質。在退火後室，沈積層經過熱處理，以保證其均勻性。氧化室用於引入富氧物質，用於鈍化沈積的活性物質，提高其性能。最後一個腔室，即凈化室，用於從單元後處理排出惰性氣體。該反應堆利用幾個專門的部件進行高效和準確的運行。其中包括一臺車載控制計算機、用於精確氣體分配的可調氣體入口和流出噴嘴、一個熱陰極型離子源、氣體噴射工具（GIS）和一個多室腔門閥資產。這些組分使反應性氣體能夠在工藝的不同階段得到適當分配，同時確保嚴格控制每個腔室的溫度和壓力。反應堆還包含多個傳感器，如熱電偶和壓力傳感器，用於監測和調整參數。AMAT 0010-09416是一款通用可靠的型號，能夠生產質量無可挑剔的先進材料的均勻薄膜。其模塊化設計和仔細校準使其成為半導體材料密集研究和生產規模加工的理想選擇。