二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293824898 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416是為制造先進半導體材料而設計的高性能反應堆。該反應堆可用於生產一系列有機和無機的半導體材料。它是一個生產型單晶片反應堆，能夠在可控大氣中以高達300 mbar的壓力和室溫至1500 °C的溫度運行。反應堆由帶真空密封出口的錐形石英管、可調樣品加熱器、陶瓷絕緣、不銹鋼法蘭、質量流量控制器、入口口和出口口組成。石英管通過使用紅外燈加熱。操作過程中，在加熱的樣品加熱器上放置一個樣品或「晶圓」，並暴露於反應堆電腦可以控制的溫度和壓力範圍內。樣品表面可以使用多種工藝修改和蝕刻，包括物理氣相沈積（PVD）和化學氣相沈積（CVD）。這座反應堆的其他能力包括氧氣/氮氣/氙氣混合氣源，氣體流速可調；基本壓力為10-6 Torr的超高真空系統；一個溫度斜坡系統，能夠快速加熱基板至1500 °C；以及超高溫退火室。此外，反應堆的工藝參數可以針對特定的晶圓要求進行調整。AMAT 0010-09416反應堆可用於合成多種化合物，包括半導體材料，如砷化氙、碳化矽和氮化氙。該反應堆效率高，可用於實現產品的高產率。它也非常通用，因為它的參數可以定制以滿足特定的要求。它具有很高的易用性，是制造先進半導體材料的理想反應堆。