二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #9111980 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416是一種晶圓雙室反應器，為設備制造和研究中使用的先進工藝提供無與倫比的控制和靈活性。該室具有溫度控制嚴密、氣源優質、長期運行可靠的清潔環境。它旨在處理需要高級性能和處理的生產過程或研究任務。AMAT 0010-09416具有單個不銹鋼陰極腔和石英上腔，可用於陽極氧化、清潔、解吸、大量氧化物生長和沈積。陰極腔具有三個感應耦合射頻（RF）源和一個電子回旋共振（ECR）源。ECR源能夠利用電磁場產生均勻的等離子體來加熱和電離材料。三個射頻源獨立工作，提供不同級別的射頻功率，從而實現精確和定制的沈積剖面。射頻源也可以用來創造超快速的等離子體處理條件，這一特征是由腔室對射頻功率的上限所實現的。該室具有高達1200℃的高溫能力和低至-50°C的低溫能力。該範圍由加熱纖維和腔內冷卻通道的組合維持。腔室的超低熱質量也有助於溫度調節的精確度。腔室還包括針對超高真空進行優化的先進真空系統，具有5巴壓力範圍。為了進一步優化加工性能,APPLIED MATERIALS 0010-09416提供了許多復雜的氣體輸送選項。具體來說，反應堆配備了兩個質量流量控制器（MFCs）、五個氣線和一個氣線監測系統。MFC允許可調氣體通量,並使用戶能夠利用動態前體輸送等功能。這五條氣體管線設計用於處理各種氣體種類和混合物組合。氣線監測儀可用於測量腔室內的氣體剖面，允許用戶考慮與溫度有關的生產率。0010-09416是要求最高級別流程性能和控制的應用程序的理想解決方案。其全面的特性、靈活性和能力使其適合在任何工藝開發或生產環境中使用。