二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416W #9148699 待售

AMAT（應用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416W是專門為快速熱處理（RTP）應用而設計的錐形石英反應器。它非常適合半導體加工，因為它能夠快速加熱和冷卻晶圓樣品。反應堆由一個石英室組成，兩個相對的金字塔向內向中心逐漸變細。它還包含兩個法蘭，一個在頂部，一個在底部，允許連接真空設備。石英室經過精密加工，確保氣密，能承受高達1000 °C的溫度。選擇石英材料是因為它具有很高的耐熱沖擊能力，以便於快速加熱和冷卻循環。腔室的內壁也塗有反射材料，確保可以均勻加熱放置在裏面的基板。反應堆的壁也被設計為允許獨立的加熱、冷卻和大氣壓力控制。反應堆的頂部法蘭有兩個密封的、可聯鎖的石英蓋。這些瓶蓋提供了一個安全的密封，以幫助在處理過程中將惰性氣體或反應混合物包含在反應堆內。底部法蘭包含兩個額外的dumet-密封石英蓋，可用於將反應堆連接到外部真空系統。這使得室內的真空壓力能夠在最佳加工條件下得到精確控制。整個反應堆設計是為可重復、可靠的運行而設計的。它有一個高效率的加熱單元，確保整個腔室能快速達到RTP應用所需的溫度。這有助於加快處理時間,同時仍能獲得高質量的結果。此外，它還有一個先進的冷卻機，這有助於防止熱失控，並確保樣品處理均勻和快速冷卻。AMAT 0010-09416W錐形石英反應堆是一種強大可靠的工具，能夠快速有效的快速熱處理。它是任何實驗室或工業過程的完美工具，因為它確保在一系列RTP應用中的準確性和可重復性。