二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #293592810 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750反應堆是一種用於半導體工業應用薄膜沈積的單晶圓爐。適合用於研發、生產。該反應堆采用化學氣相沈積（CVD）和物理氣相沈積（PVD）技術，將氣態前體轉化為固體材料。反應堆有一個石英鐘形罐，用電阻和射頻線圈加熱。鐘形罐內徑12英寸（30厘米），高20厘米。這給了反應堆4.9升的容積。在罐子底部安裝了氣體分散器，以確保兩種氣體的均勻流動。兩個階段的泵送使工藝室保持在適當的壓力下。過程控制器允許操作員控制溫度、氣流和射頻功率。AMAT 0010-09750反應堆的溫度範圍從室溫覆蓋到1,200 °C。此外，工藝控制器還配備了程序，使操作更加簡單高效。此外，反應堆還配備了水冷和抽水設備，保證了真空過程的嚴密。水冷是為了消除過量的局部加熱，使系統溫度保持在一定範圍內，以確保設備性能的可靠性和穩定性。在工藝控制方面，反應堆為光學材料和功能材料的沈積以及廣泛的其他工業程序提供了適當的環境。其先進的設計為沈積過程提供了準確、可重復的控制。這在創建均勻、高質量的圖層時可能是有益的。APPLIED MATERIALS 0010-09750 Reactor的高端控制機使一系列工藝功能得以準確一致的執行。如果需要,可以修改進程的參數,也可以保存以供以後使用。如前所述，該工具具有有助於防止局部過熱和保持安全溫度範圍的水冷資產。總體而言，0010-09750反應堆是一種可靠的高性能模型，具有良好的工藝控制特性。這種多功能反應器是各種CVD和PVD技術的理想選擇。