二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #293618116 待售

ID: 293618116
RF Match for P5000 Process: CVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是一種單晶片,經過熱處理的化學氣相沈積反應器。AMAT 0010-09750是一種用於將薄膜沈積到半導體晶片和基板上的工具。該設備的反應室呈圓柱形,它允許膜均勻沈積在基板上。該過程在200-400攝氏度的高溫氫氣氣氛中進行。APPLIED MATERIALS 0010-09750的反應室設有氣體和過程控制單元。這些裝置提供了精確控制的環境,允許所有反應物氣體的準確流動和分布。這提高了反應速度,導致了更高的收率和改善的產品質量。該系統還采用了兩級加熱工藝,確保基板和反應物氣體的均勻加熱,從而在基板上形成均質膜。膜的生長速度和表面光滑度可以用位於反應室出口的節流閥調節。膜的反射率也可以用位於反應室的快門精確控制。快門有助於生產具有廣泛折射率的高質量薄膜。0010-09750配備計算機集成監控單元。該機精確記錄反應室中的沈積速率、溫度和壓力,並允許更好的過程控制。該工具還包括硬件聯鎖和蒸汽註入控制,以增加安全性和提高生產效率。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750反應器被用於許多應用,包括氧化矽和氮化矽記憶芯片的沈積,LED芯片的鈍化層,晶體管互連的氮化物和氧化物薄膜。該資產是生產優質薄膜材料的有效、可靠和可靠的工具。
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