二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9005022 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750反應堆是一種用途廣泛、可靠的先進制造工具，專為化學氣相沈積（CVD）和物理氣相沈積（PVD）等氣相沈積過程而設計。該反應堆結合溫度、壓力和時間控制，達到前體、摻雜劑源和催化轉化等工藝所需的特定條件。它最多可容納六個卡帶/船裝載站，以容納基材、crucibles、源或其他工藝部件。反應堆采用一個腔室爐，該爐能夠加熱至25°C至1000°C的溫度範圍，並能夠在腔室內實現溫度均勻性和穩定性。ABB U型射頻線圈感應、可聽氣體流量計、多路質量流控制器與腔室爐集成，提供最高溫度穩定性。該反應堆便於使用惰性氣體和凈化設備控制室內的大氣。ABB UV-SiC模塊集成在一起,可提供額外級別的過程控制和溫度均勻性。AMAT 0010-09750反應堆采用高性能高真空系統，能夠實現降為7x10-7 Torr的真空。它還包含一個高精度的基板提升器，使精細定位精度和晶圓能力。而且反應堆還可以與液體、蒸氣、氣體等不同的工藝介質相連接。這是通過將CSA批準的*手套箱插件、球形法蘭和化學進料通過集成而實現的,這使得能夠在反應堆中正確添加和移除不同的工藝介質。反應堆還有一個PLC可編程控制單元，提供過程一致性和記錄保存能力。其用戶友好的界面設計使用戶能夠輕松操作和控制反應堆。此外，通過將真空塔和氣體歧管機集成在一起，為反應堆的維護提供了便利，這為有效運行提供了保持適當真空水平的效率。總之，APPLIED MATERIALS 0010-09750 Reactor是一種多合一反應堆，具有最先進的技術、優化的控制系統、先進的工藝能力，是先進制造工藝的理想有力工具。