二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9026400 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是一種用於生產半導體器件制造材料的高溫多區化學氣相沈積（CVD）反應器。反應堆設計有多個腔室和加熱元件，允許一定範圍的溫度和類型的沈積。該室由一個石英管組成，該石英管位於一個重新進入的管爐內。石英管周圍環繞著一系列外部電阻加熱器和一個外部絕緣屏蔽箱。這種設計允許管的加熱和一系列材料的沈積。加熱元件為石英管供電，其內容物加熱至1000 °C以上的溫度。溫度範圍為500-1100 °C,點之間增加30°C。室內溫度的均勻性由四個獨立控制的熱區控制，可以調整以滿足各種沈積過程的要求。該設計還允許對爐子進行水冷，以確保不超過加熱元件的熱上限。該設計還允許引入氧氣和/或氮氣以及一系列活化氣體或前體氣體。它們可以通過質量流控制器以受控的速率註入，向基板輸送精確的流量。它也有能力為不同的過程提供廣泛的氣體混合物。對氣流進行監測，以確保整個腔室保持均勻性。沈積過程使用計算機界面控制。它可以讓用戶準確、精確地控制氣體的溫度、壓力和流量。反應堆還裝有原位橢圓偏光計和光譜橢圓偏光計。這些工具為研究人員在過程開發過程中提供實時反饋。AMAT 0010-09750是半導體器件制造研發的理想工具。它提供了對環境的精確控制，並允許多種類型的沈積，使其成為許多行業的寶貴工具。