二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9410316 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是一種集成的等離子體蝕刻/清潔反應器,旨在實現對等離子體蝕刻過程至關重要的最佳電子連接水平和氣體流速。該系統用於清潔和蝕刻半導體制造中的基板。AMAT 0010-09750是一種多合一反應堆，旨在提供集成電源、真空控制和溫度控制，允許穩定、高精度的蝕刻過程。它利用感應線圈，通過維持原位電子的附著，創造並維持一個一致的、高水平的等離子體。另外，感應線圈的射頻功率是可調的，形成容器的氣流可以用質量流控制器調節/測量。0010-09750的尺寸為寬28英寸、深49英寸、高79英寸。反應堆主要由不銹鋼構成，並設有一個平頂通風室和兩個半圓形室。這允許等離子體和蝕刻速率的有效熄滅。反應堆的真空環境是由機械和渦輪分子泵組合而成，腔室維持在高真空狀態，使得底物的等離子體處理得以優化。APPLIED MATERIALS 0010-09750的內室塗有耐蝕刻工藝的材料，工作是減少產品等沿反應堆壁粘附。另外，將地板傾斜以最大限度地利用腔室空間。最後,允許溫度控制是一種高瓦數的定制水冷系統.這極大地降低了蝕刻過程中產生的熱量，使得0010-09750能夠在廣泛的基材材料上有效地進行蝕刻過程。綜上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是半導體行業用於等離子體蝕刻/清洗的理想工具。它結合了感應電源和真空控制以及不銹鋼結構和定制冷卻系統，確保了等離子體處理的安全性和有效性。