二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750W #9186163 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750W是專門為支持精確的工藝溫度和廣泛的工藝氣體流動而設計的反應堆。它有能力以安全可靠的方式處理批次，同時滿足高產生產和低運行成本的嚴格要求。反應堆的設計針對沈積、蝕刻和退火等多種過程進行了優化。反應堆處理面積大，溫度範圍高達1100 °C，能夠支撐氮氣、氙氣、氫氣、氧氣等氣體。該腔室由不銹鋼制成，帶有石英視口，便於查看，設計方便、準確地取用保樣晶片。會議廳還設有交互式用戶界面，便於快速、方便的過程控制和監控。反應堆的設計由於其先進的熱控設備而允許快速處理循環。該系統提供精確的過程溫度,具有快速的溫度上升和下降速率,使用戶可以更好地控制沈積和蝕刻速率。再者，這個單元允許使用多個工藝配方，配方可以在不幹擾生產流程的情況下即時快速改變。這座反應堆裝有自動晶圓處理機，簡化了樣品處理和準備、裝載和卸載。機械臂配備了強大的電子傳感器，可以在整個過程周期中準確跟蹤晶片。此外,該反應堆還具有自動配方管理工具,該工具存儲用戶定義的配方,並在任何生產運行過程中管理多個步驟的配方。該反應堆結合了各種特性和技術，可實現精確的過程控制、快速的循環時間、低的擁有成本和運行中的可靠性。隨著工藝控制的改進和產量的提高，AMAT 0010-09750W非常適合要求最高質量標準和經濟效率的蝕刻和沈積應用。