二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-12516 #293640084 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516是一種用於半導體工業的反應堆。用於通過沈積或蝕刻不同類型的薄膜來加工晶片。反應堆能夠處理300毫米晶圓，速度極快，效率極高。該反應器由石英室、晶片板和氣體控制設備三個主要部分組成。石英室的設計是為了在內部營造非常精確的氣氛，使蝕刻或沈積過程能夠非常精確的控制。腔室由三個石英圓柱體組成，這些圓柱體融合在一起形成堅固的密封。室內有加熱元件和冷卻元件，可以精確控制環境。晶片板是反應器的組件，在加工過程中將晶片固定在腔室中。它由特殊材料制成，設計為耐熱、不導電。該板還設計為低維護和低成本，以減少客戶不必要的成本。氣體控制系統是反應堆的另一個重要組成部分。它負責為蝕刻和沈積過程提供必要的反應性氣體，以及控制室內的壓力和流動。該單元由多個閥門、管道和氣源組成，可以精確控制氣體。總體而言，AMAT 0010-12516反應堆是處理各種尺寸晶片的可靠有效的方法。其精確的氣體控制機確保了室內的環境能夠被精確的調節。其低維護設計和耐用材料使其非常適合許多應用，包括薄膜沈積和蝕刻。
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