二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-12516 #293651608 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516是為多種應用而設計的超高真空化學氣相沈積（CVD）反應器。適用於大多數半導體和先進材料薄膜沈積工藝，包括納米材料。該設備改進了腔室設計，使沈積過程更均勻，工藝速度更快，基板溫度分布更好。它還包括一個獨特的機械夾緊機構，保持底座和蓋件之間的持久接觸，允許最大氣流，以更好的設備性能。反應堆還配備了一個C-DSF泵系統和兩個65升/秒離子泵，以及一個100升/秒的渦輪分子泵來提供所需的快速減壓和穩定。該單元設計有大量的工藝參數，每個參數都是可編程的，使其具有高度的可調整性和靈活性，使用戶能夠根據特定需求量身定制輸出。它配備了自動清洗功能，可以在運行之間自動清洗反應堆，其最先進的高精度計量可以提供準確的結果。在安全防護方面，AMAT 0010-12516的設計采用了嚴格的安全標準。它配有一臺互鎖機器，可防止在操作過程中進入工藝區域，還配有一個診斷工具，可實時監控安全性和性能狀態。此外，該資產還配備了集成壓力和溫度傳感器，以及模型功率監測器，可用於檢測潛在問題。總體而言，APPLIED MATERIALS 0010-12516是一種先進、高度可靠和高效的超高真空化學氣相沈積（CVD）反應器，適合各種薄膜沈積要求，具有廣泛的工藝參數和安全特性，可提高用戶的安全性和性能。