二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-12516 #293656972 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516是為薄膜沈積而設計的反應器。這是一個單晶片prober安裝與工藝室和可伸縮機器人臂模塊。它有一個上下截面，允許垂直的過程傳輸。上部包括一個內置用於晶圓支撐的提升銷的石英工藝室、氣流控制、HEPA過濾、原位清洗組件和供氣閥。下部包括一個可伸縮機器人臂模塊，該模塊在沈積過程中支持工藝晶片。該工藝室有一個大的，256mm窗口，由高氧化鋁石英構成。此窗口允許在處理過程中對樣品進行目視檢查。該工藝室還提供一個可調節的速度滾筒驅動器，支持高和低粒子的應用。此外，該腔室還包含一個晶圓提升銷和加熱器組件，用於精確的晶圓處理和可重復的熱處理。機器人臂支持晶片從工藝室到樣品模塊和背面。機器人臂的上部裝有為AMAT 0010-12516反應堆定制設計的采樣組件。該組件有助於晶圓樣品的精確定位和旋轉。該組件配有一個用於熱控制的集成加熱器。APPLIED MATERIALS 0010-12516是一種高度通用的反應堆，可用於CVD、PECVD、RIE、ALD、APCVD、MOCVD等多種應用。它具有強大的設計和性能特點,是過程優化和顯著質量改進的絕佳選擇。此外，0010-12516能夠處理從低溫材料沈積到高溫超導體的各種過程。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516以其自動化的樣品傳輸過程、集成的樣品支架、溫度控制和可調節的加熱器配置提供了極大的通用性。由於其直觀的圖形用戶界面，它也很容易使用。此外,它還通過多種氣體入口、氣體凈化和廢氣提供了額外的靈活性。AMAT 0010-12516可用於CVD、ALD等薄膜沈積工藝時取得優異效果。