二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-13321W #293658052 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-13321W是一種超緊湊工藝反應器，設計用於氧化物原子層沈積、氮化物原子層沈積和其他薄膜沈積工藝等應用。這種反應堆能夠將各層纖薄、超高純度和均勻的材料沈積到基板上。AMAT 0010-13321W由高級不銹鋼制成，耐腐蝕，易於清潔。它的腔室設計為在整個過程中提供均勻的溫度和均勻的氣體輸送。為了最大限度地提高沈積效率，可以將工藝溫度控制在0.1°C的精度。反應堆可以由外部控制器操作,允許靈活操作.該反應堆的磁控管源使其成為沈積氧化物和氮化物層的理想選擇。磁控管源確保材料塗層在基板上的均勻沈積。它還有一個石英船，最多可容納1.6克材料，確保材料均勻分布在基板上。該系統的設計便於維護,石英船、磁控管源和上部電極等可更換部件均可通過維護門進行日常維護和故障排除。反應室配有可調氣體供應，允許引入前體氣體進行沈積。這個氣體入口還配備了氣體洗滌器過濾器，可以從反應室中過濾出多余的汙染物。該室還有一個反側真空裝置，它捕獲反應副產物，防止它們重新進入反應堆，並影響沈積過程。總體而言,APPLIED MATERIALS 0010-13321W是一種高性能、超緊湊的工藝反應器,專為超薄、超高純度和高度均勻的材料層的沈積而設計。它耐用的結構和高精度的控制使得它非常適合各種應用，提供可靠和一致的結果。