二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-13833 #9277934 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-13833是一種高端氣相外延（VPE）反應器，設計用於生產高產量、優質、大批量的均質層狀材料如氮化氙、矽、氙等半導體材料。該設備利用基於水平低環狀轉盤的工藝在石英或不銹鋼反應堆室內生長。轉盤設計提供了一種倒置的crucible構型，在這種構型中，基板被加熱並以一定角度放置在水平放置在腔室內的旋轉臺上。然後在轉盤的中央放置坩堝，基板暴露在反應堆腔內的各種前體和生長材料中。在外延過程中，旋轉轉盤確保半導體材料在整個晶片上的均勻沈積，在基板上形成均勻、均勻的材料層。AMAT 0010-13833除了倒置的crucible轉盤外，還具有多種其他特點，用於精準、高效、高產的生長過程。該系統設計有一個雙集成氣體分配單元，能夠從獨立的凈化管線輸送多達60種氣體，以實現所需的沈積成分。該機還設有先進的工藝控制工具，利用閉環反饋資產監測腔室壓力、溫度和氣體成分，允許用戶精確控制沈積速率、層厚和均勻性。APPLIED MATERIALS 0010-13833為半導體材料的生產提供了可靠、經濟實惠的平臺。該模型是為高產和高質量增長以及長期持續可靠運行而設計的。該設備能夠生產高達300毫米（12英寸）的納米級晶片，其組件層薄至5納米。高度可靠和高效的0010-13833為生產當今不斷增長和變化的電子和技術市場所需的半導體材料提供了一個絕佳的平臺。