二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-13879 #293640053 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-13879是一種用於半導體制造先進蝕刻沈積工藝的反應器。它是一種平行板反應堆，一種經常用於生產存儲器芯片和其他半導體器件的反應堆。作為一種平行板反應器，AMAT 0010-13879使用兩個平行電極，可以高度控制沈積和蝕刻過程。間隔一定距離的兩塊板可以分開控制。這類反應堆的工作原理是在板之間通過帶電粒子束，然後將束分解成離子等離子體。這允許材料在上板沈積，以下板為基板，同時蝕刻下板上的材料。這使操作員能夠精確控制被沈積或蝕刻材料的形狀、大小和組成。APPLIED MATERIALS 0010-13879設計用於熔點較低且易蝕刻的材料，如矽、砷化氙等。反應堆的電子束被設計成具有較大的能量擴散，允許精確的蝕刻和沈積過程，以及在過程的控制中增加均勻性。另外，為了減少等離子體在板之間通過所造成的傷害，對下板進行冷卻。這種冷卻系統允許平行板反應堆的最高效率運行，使操作員能夠利用高功率水平，而不必擔心系統過熱或過載。總體而言，0010-13879是一種先進的平行板反應堆，設計用於半導體生產。它對沈積和蝕刻過程的精確控制，加上其冷卻系統，使其成為創建內存芯片和其他先進半導體器件的理想選擇。
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