二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-16893 / 0195-01037 #293666362 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-16893 / 0195-01037是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，用於沈積薄膜材料。該反應堆是生產半導體、光電、顯示器、玻璃、陶瓷材料等高性能薄膜產品的理想選擇。它有一個200毫米垂直設計，具有一個分割卡帶，允許從頂部和底部同時加載基板。利用分體式卡帶設計，反應堆提供了增加的體積，允許在一個循環中同時處理多個基板，減少循環時間和成本。反應堆還具有低角度磁場技術，已被證明能提供出色的等離子體均勻性和減少整個晶片的粒子汙染。低角度磁場還有助於提高薄膜的均勻性，以及減少沈積在晶片上的顆粒造成的缺陷數量。此外，AMAT 0010-16893 / 0195-01037采用單室設計，可長期可靠運行。腔室配有多區加熱設備，提供統一的溫度輪廓，用於精確的溫度控制。這種特性使材料沈積具有極好的可重復性。該室還包括一個自動化的環境氣體輸送系統，它允許一個受控的工作流程和良好的過程控制。此外，該室包括一個專利等離子體源設計，這有助於抑制放電噪聲和確保穩定的等離子體生產。反應堆還提供多點壓力控制，用於精確的過程控制。此外，反應堆還配備了高負荷活動報警單元，對反應堆進行監控，確保安全可靠。警報機還通過與外部處理系統的通信能力提供了額外的自動化層。總體而言，APPLIED MATERIALS 0010-16893 / 0195-01037是為生產高性能薄膜產品而設計的先進CVD反應器。它提供了200毫米垂直設計，具有分割盒式磁帶和低角度磁場技術，允許快速晶片處理，而不會造成均勻性或顆粒汙染的任何損失。再者，反應堆提供出色的溫度穩定性、精密的過程控制以及先進的安全報警系統，以確保可靠的生產環境。