二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-17798 #9112022 待售

ID: 9112022
晶圓大小: 12"
Degas Heater, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-17798是一種以化學氣相沈積(CVD)原理工作的反應堆。用於制造材料和薄膜的薄層。CVD是一種將氣態前體引入反應堆腔室,然後在基板上反應形成固體材料的技術。AMAT 0010-17798設計具有特定的功能,使其適合各種CVD工藝。反應堆的設計包括一個可重新裝填的腔室、一個工藝罐和一個排氣。可再填充室含有氣態前體,而工藝罐則含有基材。氣體和基材在工藝罐中發生化學反應。排氣使CVD反應的副產物從系統中逸出。基底室設計為在高溫下工作。用鐵陶瓷襯裏絕緣,減少熱損耗,保護容器不被氧化。可再填充的腔室被密封,以盡量減少有毒化學物質泄漏的風險,並且可以用多種化學物質填充,視工藝要求而定。反應堆還具有多項安全特點。該系統采用故障安全裝置和緊急關閉開關設計。故障安全設備在過程中出現中斷時激活,緊急開關可用於手動關閉系統。這些功能可防止任何工藝故障或安全隱患。反應堆具有高度的靈活性,可用於多種CVD工藝。可用於低溫沈積、等離子體溶液和濕法化學過程等工藝。這使得它成為各種應用程序的通用且高效的工具。總體而言,APPLIED MATERIALS 0010-17798反應堆是CVD工藝必不可少的工具。它結構良好、可靠且易於使用,是各種CVD過程的理想工具。
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