二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-23716 #293810760 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-23716反應堆是一種精密的設備，用於制造半導體和金屬材料，用於電子工業。它是一種超高真空系統，旨在創造低至10-7 Torr的真空水平，從而能夠沈積超薄膜。它由一個具有6英寸反作用室的多室單元、三個15英寸腔室端口、幾個工藝氣體、13-Megawatt加熱組件以及各種電源和儀表組成。這臺機器能夠處理從室溫到250°C的溫度，允許各種沈積方法。反應室由不銹鋼製成，並由13 MW的組件加熱，造成整個腔室的溫度分布均勻。高壓氣體噴射工具確保氣體分布均勻，用於蝕刻和沈積過程。每個過程的速率是可變的和可調的，使得復雜的結構沈積在廣泛的溫度範圍。三個15英寸的腔室端口允許將額外的氣體和工藝組件引入環境。這些部件包括無窗輝光放電閥、晶圓定向裝置和顯微鏡，用於現場檢查。反應室內的環境在原子上是清潔的，減少了任何過程步驟中的汙染風險。反應堆還包括兩個通用電源，一個高效的可編程電源，以及額外的電力部件，以幫助控制和操縱各種工藝氣體和溫度。安裝在反應堆中的儀表監視幾個工藝參數，如壓力、溫度和氣體成分，允許實時和後處理分析。AMAT 0010-23716反應堆是半導體工業的重要工具。它提供了高度的過程控制和準確性，同時保持卓越的真空性能。它的多功能性和堅固的結構使其成為許多薄膜制造應用的絕佳解決方案,使其成為業界有價值的設備。